WNパウダー

窒化タングステン粉末の説明

WN粉末は無機化合物であり、タングステンの窒化物である。セラミック素材です。導電性があります。それは非常に硬い固体材料です。それは茶色をしています。それは水中で分解する。

WN粉末は、集積回路製造内の導電層またはバリア層に使用される別のフィルムである。その使用は、純粋なタングステン膜や窒化チタン膜ほど一般的ではありませんが、形状が縮小するにつれて将来的に多くの可能性を秘めているようです。W/WN および WSix/WN の層でバリアを使用するアプリケーションとの互換性を提供します。

WN粉末は、コンタクト材料として、導電層のために、およびシリコンと他の金属との間のバリア層として、例えばマイクロエレクトロニクスにおいて使用される。タングステンまたは銅。窒化チタンやタングステン膜よりもあまり一般的ではありません。

WNパウダーアプリケーションおよび関連産業

●集積回路製造における導電層またはバリア層に使用される別のフィルム。

●マイクロエレクトロニクスの接触材料、

●シリコンと他の金属との間の導電層およびバリア層、例えば。タングステンまたは銅。

● 研究・研究所

●薄膜蒸着

化学識別子

窒化タングステン(WN)の特性(理論)

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