TZM合金イオン注入部品

TZM合金イオン注入部品の説明

イオン注入は、半導体デバイス製造、金属仕上げ、材料科学研究に広く使用されている重要なプロセスです。インプラントシステムの最も重要な部分は、コンポーネントが噛み合うビーム経路です。ここで、イオンが生成され、濃縮され、加速され、ウェーハに向けられる。イオン注入部品は、耐食性、強度、高い熱伝導率の組み合わせを有し、過酷な環境で良好に機能できるため、TZM合金、モリブデン、タングステンで作られることが多い。

TZM合金イオン注入部品特性

●高融点

●優れた耐クリープ性

●優れた耐食性

●良好な電気伝導率と熱伝導率

●優れた純度

TZM合金イオン注入部品の用途および関連産業

●半導体の製造に使用されます。

●工具鋼の靭性強化と表面仕上げのための金属仕上げに使用されます。

●イオンビーム混合に使用され、傾斜した界面を達成し、非混和性材料間の接着を強化します。

●チャンバー(タングステン、モリブデン、合金)

●フィラメント(タングステンおよびタングステン合金)

●アークスリット(タングステン、モリブデン、合金)

●ホルダー(タングステン、モリブデン、合金)

●陰極(タングステン、モリブデン、合金)

●スペアパーツ(タングステン、モリブデンおよび合金、セラミックス、スチール)

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