モリブデンイオン注入部品

モリブデンイオン注入部品の説明

モリブデンは灰色 - 金属であり、タングステンおよびタンタルに次いで任意の元素の中で3番目に高い融点を有する。鉱物中の様々な酸化状態に見られるが、遊離金属としては自然には存在しない。モリブデンは、高熱用途での強度と安定性でよく知られています。高温での耐食性と強度を向上させるために、他の化合物と合金化されることがよくあります。その結果、モリブデンは鋼合金、高強度合金、超合金の製造に頻繁に使用されています。モリブデン化合物は、通常、水に対する溶解度が低い。工業的には、顔料や触媒などの高圧および高温用途に使用されています。当社の注入部品は、モリブデンとタングステンから作られており、優れた耐食性、高融点、良好な電気および熱伝導率を有する。

イオン注入は半導体の製造における重要なプロセスであり、注入器システムの最も重要な部分は、部品が係合するビーム経路である。ここで、イオンが生成され、濃縮され、加速され、ウェーハに向けられる。当社のイオン注入部品は、耐食性、強度、および高い熱伝導率の理想的な組み合わせにより、これらの材料によりモリブデンとタングステンから作られています。

モリブデンイオン注入部品の特性

●高融点

●優れた耐クリープ性

●優れた耐食性

●良好な電気伝導率と熱伝導率

●優れた純度

モリブデンイオン注入部品の用途および関連産業

● 半導体

●工具鋼の強化と表面仕上げのための金属仕上げ

●傾斜した界面を達成し、非混和性材料間の接着を強化するためのイオンビーム混合

●チャンバー(タングステン、モリブデン、合金)

●フィラメント(タングステンおよびタングステン合金)

●アークスリット(タングステン、モリブデン、合金)

●ホルダー(タングステン、モリブデン、合金)

●陰極(タングステン、モリブデン、合金)

●スペアパーツ(タングステン、モリブデンおよび合金、セラミックス、スチール)

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